真空系统 SML-1 由一台罗茨泵搭配水环式真空泵构成，可在粗真空至中高真空范围提供高抽气速度与稳定运转，最终真空度可达 3.75 Torr（0.5 kPa[abs]）。系统整合真空计、真空开关、泄压阀与气动真空阀等控制组件，具高真空度、高质量、缩短操作时间、节省能源、购置成本低与不占空间、操作简便等优点，适合作为各类工业制程的中高真空排气核心设备。
什么是真空排气系统
真空排气系统是由多种真空泵按各自最有效率的压力范围进行组合，并配合自动控制与阀件，构成的一套完整抽气与维持真空的系统。系统通常由两大核心部分组成：
-
前级泵：如油回转式真空泵或液封式真空泵，负责从大气压开始抽气，并能将气体直接排放到大气。
-
机械式真空助力泵（如罗茨泵）：在中高真空范围提供很大的抽气速度，但自身无法将气体直接压缩排出到大气，需要前级泵配合使用。
为什么要组成系统
机械式真空助力泵在中高真空区间效率高、抽速大，但不能直接排气到大气；油回转式和液封式真空泵可以直接排到大气，但在中高真空范围效率较低。将两者合理搭配（助力泵＋前级泵），就可以同时兼顾“能排出大气”与“在中高真空下仍保持高抽气速度”，从而大幅提升整体抽气速度并提高可达到的真空度。
自动化与操作
整套真空排气系统通常还会配置真空计、真空开关、泄压阀、气动真空阀及其他控制元件，由控制逻辑自动判断何时启动或停止助力泵。这样用户只需通过主机或操作面板即可完成启停与监控，无需自行计算或判断机械式真空助力泵的启动时机和操作方式，即可实现稳定且简化的自动化运行。
|
型 式 模型 |
排氣速度 容量 m³/h |
最 終 壓 力 Ultimate Press.Torr |
後 段 幫 浦 前級泵 |
總 馬 力 總功率HP |
口 徑 mm(in) |
|
|
進口 |
出口 |
|||||
|
SMB65 |
300 |
2(0.2) |
SWV-5D |
2 + 5 |
65 (2.5) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-5DW |
2+5 |
50(2) |
|||
|
SMB80 |
500 |
2(0.2) |
SWV-7D |
3 + 7.5 |
80 (3) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-5DW |
3+5 |
50(2) |
|||
|
SMB100 |
700 |
2(0.2) |
SWV-10D |
5 + 10 |
100 (4) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-5DW |
5+5 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB65+SWV-5D |
5+3+5 |
50(2) |
|||
|
SMB125A |
1000 |
2(0.2) |
SWV-15 |
7.5 + 15 |
125 (5) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-7DW |
7.5+7.5 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB80+SWV-7D |
7.5+3+7.5 |
50(2) |
|||
|
SMB125 |
1500 |
2(0.2) |
SWV-20 |
10 + 20 |
125 (5) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-10DW |
7.5+10 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB100+SWV-15 |
7.5+5+15 |
50(2) |
|||
|
SMB150 |
2000 |
2(0.2) |
SWV-700 |
15 + 40 |
150 (6) |
80(3) |
|
0.2 |
SOV-20DW |
10+20 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB125A+SWV-20 |
10+7.5+20 |
50(2) |
|||
|
SMB200A |
3200 |
0.1(0.01) |
SMB125A+SWV-600 |
15+7.5+30 |
200 (8) |
80(3) |
|
0.2 |
SOV-700W |
15+40 |
80(3) |
|||
|
SMB200 |
4100 |
0.1(0.01) |
SMB125+SWV-700 |
20+10+40 |
200 (8) |
80(3) |
|
0.2 |
SOV-900W |
20+40 |
100(4) |
|||
|
SMB250 |
5400 |
0.1(0.01) |
SMB150+SWV-900 |
25+10+40 |
250 (10) |
100(4) |
|
0.2 |
SOV-900W |
20+50 |
100(4) |
|||
|
SMB300A |
7500 |
0.2 |
SOV-1300W |
30+50 |
300(12) |
100(4) |
|
SMB300 |
9000 |
0.2 |
SOV-1300W |
30+60 |
300(12) |
100(4) |
*()內的壓力是加上大氣助力器後的最終壓力
- 广泛压力适用范围：由前级泵与机械助力泵分工运作，使用范围可由粗真空延伸至中、高真空，并可依需求选配大气助力器以进一步改善最终压力。
- 高抽气速度与缩短抽气时间：在中高真空区间由机械助力帮浦提供高排气速度，明显缩短从大气至工作真空的到达时间，提升设备产能。
- 自动化与操作简易：系统整合真空计、真空开关、气动真空阀与保护逻辑，可自动判断压力区间启动或停止助力泵，使用者无须另外判断启动时机。
- 节能与降低成本：在不同压力区间以最适合的泵浦工作，可减少不必要的能耗，与单一大泵方案相比兼具较低购置成本与运转成本。
- 模块化与客制弹性：依实际制程需求可选择不同排气速度、极限压力与前级泵型式（液封式或油回转），并可扩充成多机并联或加入大气助力器以因应更高抽气量或更低压力需求。
SML-1 真空排氣系統適用於需要中、高真空且抽氣量較大的各類工業與製程，例如真空蒸餾、真空脫氣、真空脫水、真空乾燥、真空脫臭、真空冷卻與真空濃縮等熱處理或分離製程。也常用於真空含浸、真空冶金、真空鑄造、真空蒸著、真空燒結、真空絕熱與真空結晶等金屬、材料與保溫產業，以及光學工業、低溫工業、真空研究實驗與真空凍結乾燥等需穩定中高真空的應用。對於含水氣、固體微粒與腐蝕性氣體的濕式製程，更可搭配液封式前級幫浦使用，成為兼具耐受性與高效能的多目的減壓與真空抽氣來源。
