真空系統 SML-2 由一台機械助力泵、一組空氣噴射器與液封式真空泵組成，可在粗真空至中高真空範圍提供高抽氣速度與穩定運轉，最終真空度可達 0.2 Torr（0.03 kPa[abs]）。系統整合真空計、真空開關、洩壓閥與氣動真空閥等控制元件，具備高真空度、高可靠度、縮短抽氣時間、節省能源、購置成本低、占地小及操作簡便等優點，非常適合作為各類工業製程的中高真空排氣核心設備。
何謂真空排氣系統
機械式真空助力幫浦，在中高真空範圍具有大排氣速度，但卻不能將氣體直接壓縮排出於大氣，而油迴轉真空幫浦及液封式真空幫浦能抽取真空直接排出於大氣，但是在中高真空範圍其效率卻較低，因此若將機械式真空助力幫浦適當地配合選擇油迴轉真空幫浦或液封式真空幫浦做為輔助幫浦，能大量增加排氣速度並提高真空度，整個排氣系統配合真空計、真空開關、洩壓閥、氣動真空閥及其他控制元件可自動化控制，操作簡單，而不必考慮機械式真空助力幫浦的啟動時機及操作方法。
|
型 式 Model |
排氣速度 Capacity m³/h |
最 終 壓 力 Ultimate Press.Torr |
後 段 幫 浦 Backing Pumps |
總 馬 力 Total Power HP |
口 徑 mm(in) |
|
|
Inlet |
Outlet |
|||||
|
SMB65 |
300 |
2(0.2) |
SWV-5D |
2 + 5 |
65 (2.5) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-5DW |
2+5 |
50(2) |
|||
|
SMB80 |
500 |
2(0.2) |
SWV-7D |
3 + 7.5 |
80 (3) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-5DW |
3+5 |
50(2) |
|||
|
SMB100 |
700 |
2(0.2) |
SWV-10D |
5 + 10 |
100 (4) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-5DW |
5+5 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB65+SWV-5D |
5+3+5 |
50(2) |
|||
|
SMB125A |
1000 |
2(0.2) |
SWV-15 |
7.5 + 15 |
125 (5) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-7DW |
7.5+7.5 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB80+SWV-7D |
7.5+3+7.5 |
50(2) |
|||
|
SMB125 |
1500 |
2(0.2) |
SWV-20 |
10 + 20 |
125 (5) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-10DW |
7.5+10 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB100+SWV-15 |
7.5+5+15 |
50(2) |
|||
|
SMB150 |
2000 |
2(0.2) |
SWV-700 |
15 + 40 |
150 (6) |
80(3) |
|
0.2 |
SOV-20DW |
10+20 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB125A+SWV-20 |
10+7.5+20 |
50(2) |
|||
|
SMB200A |
3200 |
0.1(0.01) |
SMB125A+SWV-600 |
15+7.5+30 |
200 (8) |
80(3) |
|
0.2 |
SOV-700W |
15+40 |
80(3) |
|||
|
SMB200 |
4100 |
0.1(0.01) |
SMB125+SWV-700 |
20+10+40 |
200 (8) |
80(3) |
|
0.2 |
SOV-900W |
20+40 |
100(4) |
|||
|
SMB250 |
5400 |
0.1(0.01) |
SMB150+SWV-900 |
25+10+40 |
250 (10) |
100(4) |
|
0.2 |
SOV-900W |
20+50 |
100(4) |
|||
|
SMB300A |
7500 |
0.2 |
SOV-1300W |
30+50 |
300(12) |
100(4) |
|
SMB300 |
9000 |
0.2 |
SOV-1300W |
30+60 |
300(12) |
100(4) |
*()內的壓力是加上大氣助力器後的最終壓力The ultimate pressure after installation of EJECTOR
真空排氣系統的優點：
˙高真空度高品質
˙縮短操作時間
˙節省能源
˙購置成本低
˙不佔空間操作簡便
真空排氣系統用途
真空蒸餾、真空脫氣、真空脫水、真空乾燥、真空脫臭、真空冷卻、真空濃縮、真空含浸、真空冶金、真空鑄造、真空蒸著、真空燒結、真空絕熱、真空結晶、光學工業、低溫工業、真空研究實驗、真空凍結乾燥、真空熱處理、真空滅菌、真空包裝、真空充填、溶劑回收、真空發泡、多目的減壓源；含水氣、固體微粒及腐蝕性氣體之濕式製程真空抽氣。
