真空系統 SML-3 由兩台機械助力泵、一組空氣噴射器與一台液封式真空泵組成，可在粗真空至中高真空範圍提供高抽氣速率與穩定運轉，最終真空度可達 0.02 Torr（0.003 kPa[abs]）。
系統整合真空計、真空開關、洩壓閥與氣動真空閥等關鍵控制元件，具備高真空度、高可靠性、縮短抽氣時間、節能、省設備投資、占地面積小與操作簡便等優點，非常適合作為各類工業製程中高真空排氣的核心設備。
系統整合真空計、真空開關、洩壓閥與氣動真空閥等關鍵控制元件，具備高真空度、高可靠性、縮短抽氣時間、節能、省設備投資、占地面積小與操作簡便等優點，非常適合作為各類工業製程中高真空排氣的核心設備。
何谓真空排气系统
机械式真空助力帮浦，在中高真空范围具有大排气速度，但却不能将气体直接压缩排出于大气，而油回转真空帮浦及液封式真空帮浦能抽取真空直接排出于大气，但是在中高真空范围其效率却较低，因此若将机械式真空助力帮浦适当地配合选择油回转真空帮浦或液封式真空帮浦做为辅助帮浦，能大量增加排气速度并提高真空度，整个排气系统配合真空计、真空开关、泄压阀、气动真空阀及其他控制元件可自动化控制，操作简单，而不必考虑机械式真空助力帮浦的启动时机及操作方法。
|
型 式 模型 |
排氣速度 容量 m³/h |
最 終 壓 力 Ultimate Press.Torr |
後 段 幫 浦 前級泵 |
總 馬 力 總功率HP |
口 徑 mm(in) |
|
|
進口 |
出口 |
|||||
|
SMB65 |
300 |
2(0.2) |
SWV-5D |
2 + 5 |
65 (2.5) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-5DW |
2+5 |
50(2) |
|||
|
SMB80 |
500 |
2(0.2) |
SWV-7D |
3 + 7.5 |
80 (3) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-5DW |
3+5 |
50(2) |
|||
|
SMB100 |
700 |
2(0.2) |
SWV-10D |
5 + 10 |
100 (4) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-5DW |
5+5 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB65+SWV-5D |
5+3+5 |
50(2) |
|||
|
SMB125A |
1000 |
2(0.2) |
SWV-15 |
7.5 + 15 |
125 (5) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-7DW |
7.5+7.5 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB80+SWV-7D |
7.5+3+7.5 |
50(2) |
|||
|
SMB125 |
1500 |
2(0.2) |
SWV-20 |
10 + 20 |
125 (5) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-10DW |
7.5+10 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB100+SWV-15 |
7.5+5+15 |
50(2) |
|||
|
SMB150 |
2000 |
2(0.2) |
SWV-700 |
15 + 40 |
150 (6) |
80(3) |
|
0.2 |
SOV-20DW |
10+20 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB125A+SWV-20 |
10+7.5+20 |
50(2) |
|||
|
SMB200A |
3200 |
0.1(0.01) |
SMB125A+SWV-600 |
15+7.5+30 |
200 (8) |
80(3) |
|
0.2 |
SOV-700W |
15+40 |
80(3) |
|||
|
SMB200 |
4100 |
0.1(0.01) |
SMB125+SWV-700 |
20+10+40 |
200 (8) |
80(3) |
|
0.2 |
SOV-900W |
20+40 |
100(4) |
|||
|
SMB250 |
5400 |
0.1(0.01) |
SMB150+SWV-900 |
25+10+40 |
250 (10) |
100(4) |
|
0.2 |
SOV-900W |
20+50 |
100(4) |
|||
|
SMB300A |
7500 |
0.2 |
SOV-1300W |
30+50 |
300(12) |
100(4) |
|
SMB300 |
9000 |
0.2 |
SOV-1300W |
30+60 |
300(12) |
100(4) |
*()內的壓力是加上大氣助力器後的最終壓力
真空排气系统的优点：
˙高真空度高品质
˙缩短操作时间
˙节省能源
˙购置成本低
˙不占空间操作简便
真空排气系统用途：
真空蒸馏、真空脱气、真空脱水、真空干燥、真空脱臭、真空冷却、真空浓缩、真空含浸、真空冶金、真空铸造、真空蒸着、真空烧结、真空绝热、真空结晶、光学工业、低温工业、真空研究实验、真空冻结干燥、真空热处理、真空灭菌、真空包装、真空充填、溶剂回收、真空发泡、多目的减压源；含水气、固体微粒及腐蚀性气体之湿式制程真空抽气。
