水冷卻真空泵(WCV 系列)
此机型特别适用于晶圆切割研磨、CNC 加工机及各式自动化设备，可在长时间运转下维持稳定真空度，确保制程质量与良率。内建专利自循环水冷却系统，无需外接冷却水，即使在高负载切削或研磨条件下，仍能有效抑制温升，降低设备停机风险。体积小、可移动式设计，并搭配数字化故障显示与警报输出，方便整合至产线或单机设备，缩短安装与维护时间。
主要特色：
1. 整体式设计采数字式电子控制，体积小、外观精致且可移动。
2. 专利自循环水冷却设计，无需外接循环冷却水，适用于无法提供冷却水的场所。
3. 真空度稳定，不会因水温过高而造成制程真空效能衰退。
4. 无蒸发设计，水耗极低，只需定期加水，并设有水位过低警示装置。
5. 100% 无油设计，有利环境保护与洁净制程需求。
6. 故障警示采数字显示，讯号明确精准，依照提示即可轻松完成故障排除。
|
机型 |
流量 |
回转速 |
最终真空度 |
吸入口径 |
重量 |
马力 |
|
WCV-1 |
290 L/min |
2800 rpm |
710 mmHG |
1" PT |
93KG |
0.75Kw |
|
360 L/min |
3400 rpm |
|||||
|
WCV-2 |
480 L/min |
2800 rpm |
730 mmHG |
1" PT |
103KG |
1.5Kw |
|
600 L/min |
3400 rpm |
|||||
|
WCV-3 |
1100 L/min |
2800 rpm |
730 mmHG |
1" PT |
105KG |
2.2Kw |
|
1300 L/min |
3400 rpm |
|||||
|
WCV-5 |
1780 L/min |
1450 rpm |
730 mmHG |
1 1/2" PT |
130KG |
3.7Kw |
|
2160 L/min |
1750 rpm |
|||||
|
WCV-7 |
2600 L/min |
1450 rpm |
730 mmHG |
1 1/2" PT |
170KG |
5.5Kw |
|
3200 L/min |
1750 rpm |
|||||
|
WCV-10 |
3500 L/min |
1450 rpm |
730 mmHG |
1 1/2" PT |
230KG |
7.5Kw |
|
4300 L/min |
1750 rpm |