分散式 vs. 中央真空系统比较

在传统真空制程中，多数采用分散式供应，每台设备配备一台真空泵浦，长时间高功率运作，导致能耗高、管理复杂。

若有多台设备需要真空，推荐考虑中央真空系统，能大幅提升能源效率、简化维护并改善生产环境。

中央真空系统的优势

● 节能效益

按需启动模组，降低能源浪费

减少总体抽气需求与泵浦数量

● 简化维护

集中管理，维护更方便

备用模组设计，维修不中断

● 生产效率提升

稳定供应真空，提升设备运作效率

系统可弹性扩充，因应未来需求

● 改善工作环境

真空机组设于设备间，降低生产区噪音与热排放

空间更整洁、安全

为何选择中央真空系统？

多台制程设备需同时或间歇使用真空

重视能源管理与环境品质

希望降低维护成本与提升系统稳定性